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半導体製造装置メーカ様向け 課題解決事例集を見る
【半導体製造装置の設計者様向け】
業界トレンドの解説から、実際に半導体製造装置メーカの皆様の
課題を解決した事例を装置・製造工程・環境別に紹介しています。
また、特殊品で課題を解決した事例も掲載しています。
▼掲載内容▼
01.業界トレンドとNBKの取り組み
02.装置から見つかる課題解決事例
●装置内部 -全体-
●装置内部 -真空チャンバ
●装置外装部
03.製造工程から見つかる課題解決事例
●ウェハ洗浄工程
●酸化核酸装置
●コータ・デペロッパ
●露光装置
●エッチング装置
●イオン注入装置
●成膜・スパッタリング装置
●物理的検査装置
●電気的検査装置
●ダイシングマシン
●ダイボンダー
●ワイヤボンダー
全59件の課題解決事例をまとめてダウンロードできます。
04.環境から見つかる課題解決事例
●真空環境
●プロセスガス・ウェハ洗浄液
●電子ビーム・イオンについて
●部品の脱落防止について
●スループット向上について
●ヒートサイクルについて
05.開発力で難題を解決 特殊対応事例